京南華建特氣柜制定結構

特氣柜主要用要供應特種氣體，如易燃，易爆，劇毒等，主要用于半導體和LED的新興行業。

本實用新型涉及一種氣體的供氣裝置，特別涉及一種應用在半導體、微電 子、光電等行業內工藝制程中使用到的易燃易爆、有毒有害、腐蝕性等特種 氣體最合適的鋼瓶儲存、安全穩定供氣的特氣柜。

背景技術：

科技在不斷前進，技術不斷革新，因此半導體和新能源產業也隨之蓬勃發 展，作為工業的血脈氣體，得到了更廣泛的利用。

氣體由于其本身的物理和化學性質，決定了其在工業中被廣泛利用同時，

也伴隨了很高的危險性；氣體有毒性的，腐蝕性的，可燃性的，其無論是哪 一種都會對人造成致命的危害，因此對于氣體鋼瓶的儲存、使用及輸送便提 出了很高的要求.對于氣體的使用不僅是在安全的可靠性，還有就是對于輸 送到工藝設備時怎樣滿足工藝的要求。

因此特別需要一種符合上述要求的特氣柜。

◆按瓶數分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）

◆按操作方式分類：手動、半自動。

◆氣路配件，接頭、閥門等全部是進口電子級材料，管道為316L，自動軌道焊接。

◆氣路設計合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能，氣瓶柜留有排氣口，并具有負壓檢測 。

◆氣瓶柜箱體采用安全設計，所選用的材料適用于各種不同性質的氣體，美觀，緊湊，安全，質優價廉，可按照客戶要求定制。

◆完善的安全報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）報警信號被觸發時，自動切斷。

特氣柜主要應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，應用于半導體、太陽能電池、生物工程、微電子等行業

京南華建特氣柜制定結構